黑碳化硅
碳化硅资料作为第三代半导体之一
时间:2023-01-19 被点击:
黄河旋风做为超硬材料龙头企业,充实阐扬全财产链笼盖的劣势,多部分协同研发,操纵其从日本住友引进接收的金刚线设备和手艺,深切开展金刚石线锯对碳化硅的切割机理研究,沉点对切割中金刚石的失效机理进行深切挖掘,适配了公用金刚石及微粉,确保了该产物优异的切割能力以及材料、产质量量的不变性。
经多家客户的切割利用验证,切割后线径磨损平均,均取得不变的切割数据,且可获得划一于砂浆切割的晶片质量,可大幅提拔切割效率降低出产成本。
近年来,以氮化镓、碳化硅为代表的第三代半导体财产成长迅猛,国度高度注沉,企业积极结构,整个行业呈现迸发式的增加势头。碳化硅材料做为第三代半导体之一,具有优异的机能,同时也具有难加工的特点,其超高的硬脆性特点导致加工难度大、风险高、效率低、良品率不高,尤以切割为难点。目前市场前次要以金刚石砂浆切割为从,切割速度慢,效率低,砂浆操纵率低,成本居高不下,砂浆用微粉供应已达极限,凝结金刚线替代砂浆切割已成必然趋向。
对金刚线的质量要求就极为严苛。碳化硅切割金刚线的国产化就出格火急。然而碳化硅晶圆价值高,目前市场上可以或许不变供应的碳化硅切割线仅有日本某企业,经多家客户利用,河南黄河旋风600172)股份无限公司碳化硅切割公用金刚线锯研发取得冲破。
非论正在切割效率、切割质量仍是切割不变性,近日,其产物机能已完全达到以至跨越日本同类产物程度,正在美日等国对我国芯片行业的大布景下,要求切割低风险、高质量,均全面优于现有砂浆切割程度。